Капинос Сергей Павлович

Должность: старший преподаватль
Ученая степень: кандидат химических наук

Читаемые дисциплины:
	Интеллектуальные системы и технологии
	Информационные технологии

Научные интересы:

гетерогенное взаимодействие полупроводниковый материалов с низкотемпературной газоразрядной плазмой (НГРП) галогенсодержащих газов;
моделирование процессов, протекающих в НГРП галогенсодержащих газов.

Публикации:

Общее число научных публикаций - 12 (6 статей).

Некоторые публикации за последние 2 года:

Капинос С.П.Дунаев А.В., Пивоваренок С.А. Спектральное исследование кинетики травления арсенида галлия в плазме хлора и хлороводорода. Микроэлектроника, 2013, Т.42, №1, с. 19 - 22.
Капинос С.П., Дунаев А.В., Пивоваренок С.А., Ефремов А.М., Светцов В.И., Юдина А.В. Параметры плазмы и механизмы плазмохимического травления GaAs в смесях с аргоном и хлором. Микроэлектроника, 2013, Т.42, №4, с. 271 - 278.

Закончил ИГХТУ в 2009 году, диплом с отличием, квалификация - инженер-вакуумщик, специальность - "Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники".

Ученая степень кандидата химических наук получена в 2013 году. Диссертация на тему "Кинетические заономерности взаимодействия низкотемпературной газоразрядной плазмы смесей HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 с арменидом галлия" защищена в ДС 212.063.06 при ИГХТУ.

Последнее повышение квалификации - 2015 год