Капинос С.П.

Автор Administrator

02.04.2014 г.

Дунаев А.В., Пивоваренок С.А., Капинос С.П. Ефремов А.В., Светцов В.И. Контроль процесса травления арсенида галлия в плазме хлороводорода спектральным методом. Тезисы докладаов 7-я Российской конференции «Современные методы диагностики плазмы и их применение для контроля веществ и окружающей среды», Москва, МИФИ, 2010, с. 163-166. Дунаев А.В., С.А. Пивоваренок, Капинос С.П., Семенова О.А., Ефремов А.М., Светцов В.И. Кинетика и механизмы плазмохимического травления GaAs в хлоре и хлороводороде. Физика и химия обработки материалов, 2010, №6, с. 42-46. Дунаев А.В., Пивоваренок С.А., Капинос С.П., Ефремов А.М., Светцов В.И. Особенности плазмохимического взаимодействия арсенида галлия с хлороводородом и его смесями с аргоном. Тезисы докладов 1-я Всероссийской электронной научно-практической конференции-форума молодых ученых и специалистов «Современная российская наука глазами молодых исследователей - 2011», Красноярск, 2011 г., с. 142-144. Дунаев А.В., Капинос С.П., Пивоваренок С.А., Ефремов А.М., Светцов В.И. Спектральный контроль процесса травления GaAs в плазме HCl. Тезисы доклада на международной научно-практической конференции «Нанотехнологии - производству-2010», Фрязино, 2010, с. 43 - 44. Дунаев А.В., Капинос С.П., Пивоваренок С.А., Ефремов А.М., Светцов В.И. Спектральный контроль процесса травления арсенида галлия в плазме хлороводорода. Нанотехника, 2012, № 1(29), с. 93 - 95. Шафеев Р.В., Капинос С.П., Дунаев А.В., Пивоваренок С.А. Кинетика плазмохимического взаимодействия GaAs с HCl и смесями HCl/Ar. Тезисы докладов Всероссийской молодежной конференции «Успехи химической физики», Черноголовка, 2011. С. 79. Шафеев Р.В., Капинос С.П., Дунаев А.В., Пивоваренок С.А. Кинетика процесса плазмохимического травления GaAs в HCl и его смесях с Ar и Cl2. Тезисы докладов VI Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии, Зеленый городок, Иван. область, 2011, с. 123 - 125. Дунаев А.В., Капинос С.П., Пивоваренок С.А. Эмиссионная спектроскопия как метод контроля плазмохимического травления GaAs в HCl. Тезисы докладов VI Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии, Зеленый городок, 2011, с. 337 - 340. Дунаев А.В., Капинос С.П., Пивоваренок С.А., Ефремов А.М., Светцов В.И. Спектральное исследование травления арсенида галлия в плазме HCl. Микроэлектроника, 2011, Т.40, №6, с. 413 - 417. Дунаев А.В., Капинос С.П., Пивоваренок С.А. Исследование методом атомно-силовой микроскопии поверхности полупроводников после травления в плазме хлорсодержащих газов. Физика и химия обработки материалов, 2013, №1, с. 44 - 46. Дунаев А.В., Капинос С.П., Пивоваренок С.А. Спектральное исследование кинетики травления арсенида галлия в плазме хлора и хлороводорода. Микроэлектроника, 2013, Т.42, №1, с. 19 - 22. Дунаев А.В., Капинос С.П., Пивоваренок С.А., Ефремов А.М., Светцов В.И., Юдина А.В. Параметры плазмы и механизмы плазмохимического травления GaAs в смесях с аргоном и хлором. Микроэлектроника, 2013, Т.42, №4, с. 271 - 278

Последнее обновление ( 03.04.2014 г. )

 

След. »