Главная arrow Научная деятельность arrow Списки трудов сотрудников кафедры arrow Капинос С.П.  
21.11.2017 г.
Капинос С.П. Печать E-mail
Автор Administrator   
02.04.2014 г.
  1. Дунаев А.В., Пивоваренок С.А., Капинос С.П. Ефремов А.В., Светцов В.И. Контроль процесса травления арсенида галлия в плазме хлороводорода спектральным методом. Тезисы докладаов 7-я Российской конференции «Современные методы диагностики плазмы и их применение для контроля веществ и окружающей среды», Москва, МИФИ, 2010, с. 163-166.
  2. Дунаев А.В., С.А. Пивоваренок, Капинос С.П., Семенова О.А., Ефремов А.М., Светцов В.И. Кинетика и механизмы плазмохимического травления GaAs в хлоре и хлороводороде. Физика и химия обработки материалов, 2010, №6, с. 42-46.
  3. Дунаев А.В., Пивоваренок С.А., Капинос С.П., Ефремов А.М., Светцов В.И. Особенности плазмохимического взаимодействия арсенида галлия с хлороводородом и его смесями с аргоном. Тезисы докладов 1-я Всероссийской электронной научно-практической конференции-форума молодых ученых и специалистов «Современная российская наука глазами молодых исследователей - 2011», Красноярск, 2011 г., с. 142-144.
  4. Дунаев А.В., Капинос С.П., Пивоваренок С.А., Ефремов А.М., Светцов В.И. Спектральный контроль процесса травления GaAs в плазме HCl. Тезисы доклада на международной научно-практической конференции «Нанотехнологии - производству-2010», Фрязино, 2010, с. 43 - 44.
  5. Дунаев А.В., Капинос С.П., Пивоваренок С.А., Ефремов А.М., Светцов В.И. Спектральный контроль процесса травления арсенида галлия в плазме хлороводорода. Нанотехника, 2012, № 1(29), с. 93 - 95.
  6. Шафеев Р.В., Капинос С.П., Дунаев А.В., Пивоваренок С.А. Кинетика плазмохимического взаимодействия GaAs с HCl и смесями HCl/Ar. Тезисы докладов Всероссийской молодежной конференции «Успехи химической физики», Черноголовка, 2011. С. 79.
  7. Шафеев Р.В., Капинос С.П., Дунаев А.В., Пивоваренок С.А. Кинетика процесса плазмохимического травления GaAs в HCl и его смесях с Ar и Cl2. Тезисы докладов VI Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии, Зеленый городок, Иван. область, 2011, с. 123 - 125.
  8. Дунаев А.В., Капинос С.П., Пивоваренок С.А. Эмиссионная спектроскопия как метод контроля плазмохимического травления GaAs в HCl. Тезисы докладов VI Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии, Зеленый городок, 2011, с. 337 - 340.
  9. Дунаев А.В., Капинос С.П., Пивоваренок С.А., Ефремов А.М., Светцов В.И. Спектральное исследование травления арсенида галлия в плазме HCl. Микроэлектроника, 2011, Т.40, №6, с. 413 - 417.
  10. Дунаев А.В., Капинос С.П., Пивоваренок С.А. Исследование методом атомно-силовой микроскопии поверхности полупроводников после травления в плазме хлорсодержащих газов. Физика и химия обработки материалов, 2013, №1, с. 44 - 46.
  11. Дунаев А.В., Капинос С.П., Пивоваренок С.А. Спектральное исследование кинетики травления арсенида галлия в плазме хлора и хлороводорода. Микроэлектроника, 2013, Т.42, №1, с. 19 - 22.
  12. Дунаев А.В., Капинос С.П., Пивоваренок С.А., Ефремов А.М., Светцов В.И., Юдина А.В. Параметры плазмы и механизмы плазмохимического травления GaAs в смесях с аргоном и хлором. Микроэлектроника, 2013, Т.42, №4, с. 271 - 278
Последнее обновление ( 03.04.2014 г. )
 
След. »

Ivanovo State University of Chemical Technology is provided with the use of VP for educational purpose by the Academic Partner Program from Visual Paradigm.
Enterprise Architect
Sparx Systems Enterprise Arctitect provides Ivanovo State University of Chemical Technology with Enterprise Architect, Eclipse Integration, Visual Studio Integration, SysML Technology, Zachman Framework and much more for use in educational purposes, offered by the Enterprise Architect Academic Site License.