Главная arrow Сотрудники  
29.06.2017 г.
Капинос Сергей Павлович

Должность: старший преподаватль
Ученая степень: кандидат химических наук

Читаемые дисциплины:
Интеллектуальные системы и технологии
Информационные технологии

Научные интересы:
  • гетерогенное взаимодействие полупроводниковый материалов с низкотемпературной газоразрядной плазмой (НГРП) галогенсодержащих газов;
  • моделирование процессов, протекающих в НГРП галогенсодержащих газов.

 

 


Публикации:

Общее число научных публикаций - 12 (6 статей).

Некоторые публикации за последние 2 года:

  • Капинос С.П.Дунаев А.В., Пивоваренок С.А. Спектральное исследование кинетики травления арсенида галлия в плазме хлора и хлороводорода. Микроэлектроника, 2013, Т.42, №1, с. 19 - 22.
  • Капинос С.П., Дунаев А.В., Пивоваренок С.А., Ефремов А.М., Светцов В.И., Юдина А.В. Параметры плазмы и механизмы плазмохимического травления GaAs в смесях с аргоном и хлором. Микроэлектроника, 2013, Т.42, №4, с. 271 - 278.

Закончил ИГХТУ в 2009 году, диплом с отличием, квалификация - инженер-вакуумщик, специальность - "Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники".

Ученая степень кандидата химических наук получена в 2013 году. Диссертация на тему "Кинетические заономерности взаимодействия низкотемпературной газоразрядной плазмы смесей HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 с арменидом галлия" защищена в ДС 212.063.06 при ИГХТУ.

Последнее повышение квалификации - 2015 год

 


Ivanovo State University of Chemical Technology is provided with the use of VP for educational purpose by the Academic Partner Program from Visual Paradigm.
Enterprise Architect
Sparx Systems Enterprise Arctitect provides Ivanovo State University of Chemical Technology with Enterprise Architect, Eclipse Integration, Visual Studio Integration, SysML Technology, Zachman Framework and much more for use in educational purposes, offered by the Enterprise Architect Academic Site License.